Tungsten Püskürtme Hedefleri
Tungsten püskürtme hedefleri çeşitli modern teknolojik uygulamalarda çok önemli bir rol oynamaktadır. Bu hedefler elektronik, yarı iletken ve optik gibi endüstrilerde yaygın olarak kullanılan püskürtme işleminin önemli bir parçasıdır.
Tungstenin özellikleri onu püskürtme hedefleri için ideal bir seçim haline getirir. Tungsten, yüksek erime noktası, mükemmel ısı iletkenliği ve düşük buhar basıncıyla bilinir. Bu özellikler, püskürtme işlemi sırasında önemli bir bozulma olmaksızın yüksek sıcaklıklara ve enerjik parçacık bombardımanına dayanabilmesini sağlar.
Elektronik endüstrisinde, entegre devrelerin ve mikroelektronik cihazların imalatı için ince filmleri substratlar üzerine biriktirmek için tungsten püskürtme hedefleri kullanılır. Püskürtme işleminin hassas kontrolü, elektronik bileşenlerin performansı ve güvenilirliği açısından kritik olan, biriktirilen filmlerin tekdüzeliğini ve kalitesini sağlar.
Örneğin, düz panel ekranların üretiminde püskürtme hedefleri kullanılarak biriktirilen tungsten ince filmleri, ekran panellerinin iletkenliğine ve işlevselliğine katkıda bulunur.
Yarı iletken sektöründe ara bağlantılar ve bariyer katmanları oluşturmak için tungsten kullanılır. İnce ve uyumlu tungsten filmleri biriktirme yeteneği, elektrik direncinin azaltılmasına ve cihazın genel performansının arttırılmasına yardımcı olur.
Optik uygulamalar aynı zamanda tungsten püskürtme hedeflerinden de yararlanır. Tungsten kaplamalar aynalar ve mercekler gibi optik bileşenlerin yansıtıcılığını ve dayanıklılığını artırabilir.
Tungsten püskürtme hedeflerinin kalitesi ve saflığı son derece önemlidir. Küçük yabancı maddeler bile biriktirilen filmlerin özelliklerini ve performansını etkileyebilir. Üreticiler, hedeflerin farklı uygulamaların zorlu gereksinimlerini karşıladığından emin olmak için sıkı kalite kontrol önlemleri uyguluyor.
Tungsten püskürtme hedefleri, modern teknolojilerin ilerlemesinde vazgeçilmezdir; elektronik, yarı iletken ve optiklerin gelişimini yönlendiren yüksek kaliteli ince filmlerin oluşturulmasını sağlar. Sürekli gelişimleri ve yenilikleri şüphesiz bu endüstrilerin geleceğini şekillendirmede önemli bir rol oynayacaktır.
Farklı Tungsten Püskürtme Hedefleri ve Uygulamaları
Her biri kendine özgü özellikleri ve kullanımları olan çeşitli tungsten püskürtme hedefleri vardır.
Saf Tungsten Püskürtme Hedefleri: Bunlar saf tungstenden oluşur ve genellikle yüksek erime noktası, mükemmel ısı iletkenliği ve düşük buhar basıncının gerekli olduğu uygulamalarda kullanılır. Yarı iletken endüstrisinde ara bağlantılar ve bariyer katmanları için tungsten filmlerin biriktirilmesinde yaygın olarak kullanılırlar. Örneğin, mikroişlemcilerin üretiminde saf tungsten püskürtme, güvenilir elektrik bağlantıları oluşturmaya yardımcı olur.
Alaşımlı Tungsten Püskürtme Hedefleri: Bu hedefler nikel, kobalt veya krom gibi diğer elementlerle birleştirilmiş tungsten içerir. Belirli malzeme özelliklerine ihtiyaç duyulduğunda alaşımlı tungsten hedefler kullanılır. Bunun bir örneği, daha iyi ısı direnci ve aşınma direnci için türbin bileşenleri üzerinde kaplamalar oluşturmak için alaşımlı bir tungsten püskürtme hedefinin kullanılabileceği havacılık ve uzay endüstrisindedir.
Tungsten Oksit Püskürtme Hedefleri: Oksit filmlerin gerekli olduğu uygulamalarda kullanılır. Dokunmatik ekranlar ve güneş pilleri için şeffaf iletken oksitlerin üretiminde kullanım alanı bulurlar. Oksit tabakası, nihai ürünün elektriksel iletkenliğinin ve optik özelliklerinin iyileştirilmesine yardımcı olur.
Kompozit Tungsten Püskürtme Hedefleri: Bunlar, kompozit bir yapıda diğer malzemelerle birleştirilmiş tungstenden oluşur. Her iki bileşenin özelliklerinin bir kombinasyonunun istendiği durumlarda kullanılırlar. Örneğin tıbbi cihazların kaplamasında biyouyumlu ve dayanıklı bir kaplama oluşturmak için kompozit bir tungsten hedefi kullanılabilir.
Tungsten püskürtme hedefi türünün seçimi, istenen film özellikleri, alt tabaka malzemesi ve işleme koşulları dahil olmak üzere uygulamanın özel gereksinimlerine bağlıdır.
Tungsten Hedef Uygulaması
Düz panel ekranlar, güneş pilleri, entegre devreler, otomotiv camı, mikroelektronik, bellek, X-ışını tüpleri, tıbbi ekipman, eritme ekipmanı ve diğer ürünlerde yaygın olarak kullanılır.
Tungsten Hedeflerin Boyutları:
Disk hedefi:
Çap: 10 mm ila 360 mm
Kalınlık: 1 mm ila 10 mm
Düzlemsel hedef
Genişlik: 20 mm ila 600 mm
Uzunluk: 20 mm ila 2000 mm
Kalınlık: 1 mm ila 10 mm
Döner hedef
Dış çap: 20 mm ila 400 mm
Duvar kalınlığı: 1 mm ila 30 mm
Uzunluk: 100mm ila 3000mm
Tungsten Püskürtme Hedefi Özellikleri:
Görünüm: gümüş beyaz metal parlaklık
Saflık: W≥99,95%
Yoğunluk: 19,1 g/cm3'ten fazla
Tedarik durumu: Yüzey parlatma, CNC makine işleme
Kalite standardı: ASTM B760-86, GB 3875-83